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0.95%Fluorine(F2)_1.25%Krypton(Kr)_Neon(Ne)氟氪氖混合气
1.25%Krypton(Kr)_Neon(Ne)氪氖混合气
10% Methane_Argon (CH4_Ar)甲烷氩气混合气
5%Fluorine_Nitrogen (5%F2_N2)2氟氮混合气
Diborane Mixtures乙硼烷混合气
Tetrafluoromethane-O2 (CF4-O2)四氟甲烷氧气混合气
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