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乙炔 (C2H2)   压缩空气
氨气 (NH3)   氩气 (Ar)
氩,深冷液体(LAR)   砷烷 (AsH3)
三氯化硼 (BCl3)   三氟化硼 ( BF3)
八氟环戊烯(C5F8)   二氧化碳 (CO2)
一氧化碳 (CO)   甲基硅甲烷(CH3SIH3)
氯 (Cl2)   乙硼烷 (B2H6)
二氯硅烷 (SiH2Cl2)   乙硅烷 (Si2H6)
氟 (F2)   四氟化锗(GeF4)
四氢化锗 (GeH4)   六氟乙烷 (C2F6)
四氟甲烷 (CF4)   三氟甲烷 (CHF3)
二氟甲烷 (CH2F2)   氦 (He)
溴化氢 (HBr)   氯化氢 (HCl)
氟化氢 (HF)   氢 (H2)
硒化氢 (H2Se)   甲烷 (CH4)
氟甲烷 (CH3F)   一氧化氮 (NO)
氮 (N2)   液氮 (LN2)
三氟化氮 (NF3)   一氧化二氮 (N2O)
八氟环丁烷(C4F8)   八氟丙烷 (C3F8)
液氧(LO2)   氧, 压缩气体 (O2)
磷化氢 (PH3)   硅甲烷 (SiH4)
四氯化硅 (SiCl4)   四氟化硅 (SiF4)
六氟化硫 (SF6)   原硅酸四乙酯(OC2H5)4
四氯化钛 (TiCl4)   三氯硅甲烷 (SiHCL3)
六氟化钨 (WF6)   氙气 (Xe)

纯气

混合气
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