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六氟化硫
无色，无味，不燃烧的液化气体。
应用
变压器中的绝缘介质；金属冶炼中的保护气氛。
半导体生产：高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品。I
分子量
146.05
比重
(Air = 1)
5.11
比容
0.16m3/kg@21.1ºC,
101.325kPa
气味
无嗅的
CAS Registry No.
2551-62-4
产品规范：
Sulfur
Hexafluoride 六氟化硫3N
Sulfur
Hexafluoride 六氟化硫4N
Sulfur
Hexafluoride 六氟化硫5N
MSDS
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纯气
